近场光学用几何方法处理，这当然又是个大问题。实际做出来的Mask厚度有好几微米，孔径却只有几十纳米。那可不是薄板上开孔，而是一根根直径小于波长的管子。光在这样的管子里怎么传播是个很复杂的问题，并不是发光体只要在孔里露出来一点点就能被看见这么简单的。
再比如，颗粒的形状。文章自己也说了，对于椭圆这一类形状，极端情况下的误差就可达30%。既然都subresolution了，这个颗粒的形状自然无法知道，而仅此处的误差就能达到30%，那后面针对圆形搞出来的什么0.8%的相对误差就显然是个笑话。
又比如，文章假设了所有的小孔都是直径全同的圆形。真要作出又圆又均一的小孔哪有那么容易。做半导体器件，CD Uniformity控制就已经是大问题了。做测量用的器件……